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真空腔体
  • 客制化模组及客制腔体是依照客户需求进行设计和工程规划,组装及测试完成后即可使用,提供客户特定的操作如真空排气、基材除气和产品检验等功能,客制化模组通常包括了真空腔体、架台、真空PUMP、真空管路及控制系统等基本配备,各种组件都可以依照客户规格来搭配。
  • 体育式(In-line)uedbet腔体的几何形状大都为矩形,依照基板传输方位可分为立式和卧式,腔体之间视制程的需求装置阀门作为区隔,体育式腔体可以应用在:防电磁波干扰(Anti-EMI)镀膜uedbet,表面装饰镀膜(SDC)uedbet、触控面板镀膜uedbet、薄膜太阳能电池镀膜uedbet,Low-E玻璃镀膜uedbet。
  • 批次式(Batch type)uedbet的腔体形状及尺寸不一,例如要求冷却效果而设计的双层腔体,为了提升产能而设计的双门腔体,其他如真空度要求、成膜方式、制程气体种类及基板材质等都会影响真空腔体的设计,穗诚真空uedbet可以配合客户需求并提供相关参考经验达到真空腔体设计的最佳化。
  • 先进制程的开发初期都需要在实验室进行许多测试,uedbet真空uedbet制造之客制化真空腔体装配于多种实验uedbet,为研究者提供了适当的工具以进行各项先进制程实验。
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